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CIF實驗室型等離子清洗機(jī)

簡要描述:CIF推出全新一代 CPC-G系列實驗室型等離子體清洗設(shè)備, 改變傳統(tǒng)等離子體清洗設(shè)備設(shè)計理念。CIF實驗室型等離子清洗機(jī)具有較大的腔體尺寸和有效樣 品處理面積, 使用成本低, 性價比高, 處理快速高效, 特別適合于大學(xué), 科研院所和光電企業(yè)實驗室小批量中試生產(chǎn)。

  • 產(chǎn)品型號:CPC-G/Plus
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-10-25
  • 訪  問  量:2306

詳細(xì)介紹

品牌CIF產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,地礦,能源,交通

產(chǎn)品特點:

◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài),20 個配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。

◆  PLC 工控機(jī)控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

◆  石英真空艙,真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無污染。

◆  采用質(zhì)量流量計,實現(xiàn)對氣體輸入精準(zhǔn)控制,改變傳統(tǒng)浮子流量計控制氣體流量不準(zhǔn)確問題。

◆  HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

◆  60 度傾角操作界面設(shè)計,符合人體功能學(xué),操作方便,界面友好。

◆  頂置真空艙,上開蓋設(shè)計,下壓式鉸鏈開關(guān)方式,開關(guān)蓋方便。

◆  CIF實驗室型等離子清洗機(jī)采用花灑式多孔進(jìn)氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問題。

◆  上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設(shè)計,符合人體功能學(xué),操作更方便。

◆  有效清洗面積大,可清洗最大直徑 8 吋硅片。

◆  安全保護(hù),艙門打開,自動關(guān)閉電源。


CIF實驗室型等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù):

型號

CPC-G

CPC-Gplus

射頻電源

40KHz

13.56MHz

射頻功率

0-600W

0-150W

匹配器

自動匹配

激發(fā)方式

電容式

氣體控制

單路 MFC(可選兩路)

艙體尺寸

H100xΦ269mm

艙體容積

5.6L

艙體材質(zhì)

石英玻璃

有效處理尺寸

Φ269mm 圓盤

時間設(shè)定

9999 秒

真空泵

抽速 4m3/h

氣體穩(wěn)定時間

1 分鐘

真空度

100pa 以內(nèi)

 

AC220V 50/60Hz  752/302W

產(chǎn)品尺寸

L425xW480xH445mm

包裝尺寸

L550xW630xH700mm

整機(jī)重量

30kg



 

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